雷竞技下载app官网.无接触硅片厚度TTV电阻率综合测试系统

　　PV-1000系列无接触硅片厚度TTV电阻率综合测试系统为太阳能/光伏硅片及其他材料提供快速、多通道的厚度、（总厚度变化）TTV、翘曲及无接触电阻率测量功能。并提供基于TCP/IP的数据传输接口及基于Windows的控制软件，用以进行在线及离线数据管理功能。

　　无接触硅片综合测试系统-技术指标■晶圆硅片测试尺寸：50mm- 300mm.■厚度测试范围：1.7mm，可扩展到2.5mm.■厚度测试精度：+/-0.25um■厚度重复性精度：0.050um■测量点直径：8mm■TTV测试精度: +/-0.05um

　　■电阻率测量精度：2%■电阻率测量重复精度：1%■晶圆硅片类型：单晶或多晶硅■材料：Si，GaAs，InP，Ge等几乎所有半导体材料■可用在：切片后、磨片前、后，蚀刻，抛光以及出厂、入厂质量检测等■平面/缺口：所有的半导体标准平面或缺口■硅片安装：裸片，蓝宝石/石英基底，黏胶带■连续5点测量应用范围切片线锯设置厚度总厚度变化TTV监测导线槽刀片更换磨片/刻蚀和抛光过程监控厚度总厚度变化TTV材料去除率弯曲度翘曲度平整度研磨材料去除率zui终检测抽检或全检终检厚度

　　主营产品：少子寿仪，红外探伤仪，氧碳含量仪，椭楄仪，型号测试仪，电阻率测试仪，蓝宝石等检测设备